真空計(jì)的應(yīng)用實(shí)例
?
真空計(jì)的應(yīng)用實(shí)例
真空空間通常用于需要高清潔度的制造場所,因?yàn)榭梢宰畲蟪潭鹊販p少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì)。其中,真空計(jì)安裝在與需要真空度控制的腔室和石英管連接的流體回路中。
真空計(jì)通常安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及冶金、有機(jī)合成等實(shí)驗(yàn)設(shè)備中。它還用于需要表面清潔度的場合,例如離子束設(shè)備、氣相沉積設(shè)備以及其他需要表面清潔度的應(yīng)用。